Владимир Александрович Беспалов
ВУЗ/ВУЗы
Справка
Беспалов Владимир Александрович, доктор технических наук, лауреат премии Президента РФ в области образования и Правительства РФ в области науки и техники, награждён орденом Дружбы, член Президиума Совета по науке и образованию при Президенте РФ.
Профессор В. А. Беспалов — специалист в области физики и технологии гетероструктур, элементной базы, микро- и наноэлектроники, устройств микросистемной техники, автор и соавтор более 200 научных работ, из них 5 монографий и 50 авторских свидетельств.
Основные научные результаты В. А. Беспалова:
— исследованы характеристики фоточувствительных слоёв твердого раствора арсенида галлия, легированного марганцем и разработаны конструкции и технологии их эпитаксиального роста, разработана и внедрена в производство технология многоэлементных ИК-фотоприемников спектрального диапазона 8-12 мкм с повышенной рабочей температурой и предварительной обработкой сигнала малошумящих усилителей на арсениде галлия;
— решена проблема создания эффективных автоэмиссионных сред для приборов и устройств силовой СВЧ электроники и интегральной эмиссионной электроники субтерагерцового диапазона частот с использованием разработанной технологии изготовления структуры кремний/алмаз/кремний-углеродный туннельнопрозрачный проводящий слой с массивами микроострий на гетерогранице кремний/алмаз;
— разработаны технологии по изготовлению сложных (с элементами и оптической близости) бинарных и фазоздвигающих фотошаблонов уровня 130 нм;
— разработаны принципы конструирования и технологии семейства тепловых МЭМС датчиков, создано их производство на пластинах диаметром 150 мм.
В. А. Беспалов организовал и руководит крупнейшим в России ЦКП МИЭТ по производству изделий микросистемной техники и приборов на сложных полупроводниках.